ニュースリリース News Release

2017年5月2日

日本薬剤学会第32年会に参加します。

日本薬剤学会第32年会に参加します。
(日時:2017年5月11日(木)~13日(土)、場所:大宮ソニックシティ)

ランチョンセミナー『製剤開発、製剤評価におけるラマン分光分析の基礎と応用』
2017年5月11日(木) 12:15 - 13:15、第3会場

・口演『拡散反射ラマン分光法による錠剤成分原薬結晶多形の定量評価方法の開発』
2017年5月13日(土) 14:00 - 14:15、第3会場(物理薬剤・製剤12)

ニュースリリース News Release

2016年08月08日

300mmウエハーステージ搭載ラマン顕微鏡RAMANdriveを新発売

ナノフォトン株式会社(大阪府大阪市、代表取締役社長マイケル・ヴァースト)は、半導体分野向け新製品ウエハーアナライザーRAMANdriveをリリースいたします。

RAMANdriveは、当社独自のパワフルなラマンイメージング機能により、半導体材料中の応力や結晶多形、欠陥などの分布をサブミクロンの空間分解能で非破壊分析し、その分布を3次元で可視化することができます。独自開発の300mmウエハーステージを搭載することで、最大300mmの大型ウエハーをそのままステージに載せ、分析することが可能です。新搭載のステージナビゲーションシステムは、ユーザー所有の異物・欠陥検査装置で取得した座標データを読み込み、分析対象のパーティクルや欠陥の存在する座標へ、正確かつスムーズにステージを電動で動かします。

当社代表取締役社長のマイケル・ヴァーストは、「半導体材料中の応力、結晶多形、不純物やキャリア濃度といった物性情報を評価し、3次元的に可視化できるラマンイメージングは、半導体分野でもっとも期待されている分析手法のひとつです。独自の300mmウエハーステージを搭載したRAMANdriveは、新材料開発を加速し、歩留まりを改善するパワフルなツールになると確信しています。」と話しています。

PDFプレスリリース(PDF形式/177kバイト)

プレス向け記者会見の様子 プレス向け記者会見の様子
 

RAMANdriveの特長

1. ステージナビゲーションシステム

ナノフォトンが開発したステージナビゲーションシステムは、ユーザー所有の異物・欠陥検査装置で取得した座標データを読み込み、ウエハー上に存在するパーティクルや欠陥の存在する座標へ、正確かつスムーズにステージを電動で動かします。サンプルの捜索に時間を割くことなく、分析業務に集中できます。

2. 100nm以下の微小異物の同定

RAMANdriveに搭載された高品質な暗視野観察機能により、100nm以下の微小異物も明瞭に観察することができます。検出感度に優れた高分解能なラマン分光分析により、微小異物のラマンスペクトルを検出し、成分を同定することが可能です。

3. 残留応力の3Dラマンイメージング分析

RAMANdriveは優れた共焦点(コンフォーカル)光学系を備えており、高性能な3次元ラマンイメージング分析を可能とします。半導体ウエハー中の応力や結晶多形の分布を、サブミクロンの空間分解能で明瞭に3次元で可視化することができます。