ウエハーステージ搭載ラマン顕微鏡 RAMANdrive [Wafer Analyzer]

高品質ウエハー開発の駆動力。 RAMANdrive

RAMANdriveは300mmウエハーステージを搭載した半導体分析専用のラマン顕微鏡です。
ウエハーの所望の位置へ正確かつスムーズにステージを移動させ、
高性能なラマン分光イメージング分析を実現します。

ステージナビゲーションシステム

当社独自開発のステージナビゲーションシステムは、ユーザー所有の異物・欠陥検査装置で取得した座標データを読み込み、サンプル上に存在する異物や欠陥の座標へ、ステージを正確かつスムーズに電動で移動させます。サンプルの捜索に時間を割くことなく、分析業務に集中できます。

ステージナビゲーションシステム

100nm以下の微小異物を同定

RAMANdriveに搭載された高品質な暗視野観察機能により、ウエハー上の100 nm以下の微小異物を明瞭に観察することができます。検出感度に優れた高分解能なラマン分光分析により、微小異物のラマンスペクトルをS/Nよく検出し、成分を同定することが可能です。

高感度ラマン分光分析

応力分布を可視化する3Dラマンイメージング

RAMANdriveは優れた共焦点(コンフォーカル)光学系を搭載しており、高分解能な3Dラマンイメージング分析が可能です。半導体ウエハー中の応力や結晶多形の分布を、サブミクロンの空間分解能で、明瞭に3Dで可視化することができます。

3Dラマンイメージング