SiCウエハー全面の結晶多形ラマンイメージング

 SiC やGaN などのワイドギャップ半導体は、Si 半導体と比較して、低損失、高温で動作できるなど様々なメリットがあり、その需要が高まっています。これらの半導体デバイスは過酷な環境で使用されることが多く、高い信頼性が求められます。そのためには、高品質なウエハーが必要ですが、結晶成長時に結晶欠陥が発生しやすいため、ウエハーの欠陥種類や分布を正確に評価する技術が必要です。

 ウエハーの欠陥分布の観察には、X 線トポグラフィーや偏光顕微鏡などが用いられます。図1 は、結晶内歪観察装置CS1( セラミックフォーラム社製) で取得した4 インチSiC ウエハーの歪画像です。ウエハーに残留する欠陥や応力によって引き起こされる結晶歪の分布状態を、白のコントラストにより、簡便に観察することができます。このウエハーでは、全面に多数の歪が分布していることがわかります。

 この歪の原因としては、結晶欠陥が推察されますが、その欠陥の種類は、ラマンイメージングにより容易に判別することができます。SiC には、化学組成は同じでも、原子配列が異なる結晶多形(ポリタイプ)が多数存在します。ポリタイプによりラマンスペクトルが異なるため[1] 、ラマンイメージングにより結晶形の種類や分布が可視化ができます。

 図2 は、ウエハーステージ搭載ラマン顕微鏡RAMANdriveでラマンイメージングした、ウエハー全面の結晶多形の分布画像です。このウエハーのポリタイプは4H ですが、ウエハーの左上から弧を描くように、15R,6H の2 種類の異なるポリタイプが分布していることがわかります(ラマンスペクトルは図3に示します)。歪分布画像と分布を比較することで、異なるポリタイプの周辺には、不整合に由来する歪が存在することがわかります。また、歪分布画像の中央部や左下端の歪集中個所では、ラマンイメージから異種ポリタイプは見られず、主に貫通転位の密集による歪が発生していることも読み取れます。

詳しくはアプリケーションのページで

高分子のための機器セミナーに参加します。

高分子のための機器セミナー〜基礎から材料評価・故障解析まで〜に参加します。
(日時:2017年12月22日(金)、場所:⼤⽥区産業プラザ)

・セミナー:『ナノフォトン社製ラマン顕微鏡RAMANtouch/RAMANforceのラマンイメージングによる⾼分⼦材料へのアプローチ』
2017年12月22日(水) 15:25- – 15:40、小展示ホール

・ポリマー測定事例を展示致します。

第5回会長室から『ネーミング』

代表取締役会長 河田 聡

社名である「ナノフォトン」という名前は、知人に譲ってもらいました。フォトンでナノを観察する顕微鏡の会社を表すのにぴったりの名称だと思っています。このネーミングは、他社と比べて実はちょっと自慢なんです。会社のネーミングは大切です。

社名にはそれぞれ創業の思いとその後の歴史が刻まれます。個人商店から始まった会社は、創業者の名字と、その後に商売の内容が付きます。上田酒店とか山口薬局みたいなもので、かつての松下電器産業とか豊田自動織機やEdison General Electric、いまでも武田薬品工業、竹中工務店、Ford Motorなどがそうです。会社が有名になると名前は短くなります。東京通信工業は「ソニー」、日本光学工業は「ニコン」、津村順天堂は「ツムラ」になりました。Apple Computerも2007年に「Apple」になりました。コンピュータという業種名を外した方がより自由になれます。International Business Machinesはいまでは通称の「IBM」の方がよく知られています。Bayerische Motoren Werkeは「BMW」、Minnesota Mining and Manufacturingは「3M」が正式名称です。簡単な方が言いやすいし憶えやすいのですが、何を扱う会社なのかわかりにくいという問題もあります。たとえば野球チームの「DeNA」が何を意味して何を売っているのか私はよく知りません。若い人には総合商社の「双日」の意味や業務を知らない人もいるかもしれません。

日本には長い名前の会社があります。複数の会社が合併してそれらの名前を連ねただけのネーミングは特に銀行系に多いように思います。合併前のどの会社とも無関係な名称が選ばれていることもあります。ひらがなにしたり辞書にないことばです。市町村名は由緒ある名前がよいと思いますが、それらが合併した後にはひらがなや歴史感のない名前が選ばれます。

ネーミングとは難しいものです。

話題の「希望の党」の名称は過去よりも未来志向をイメージさせ、立ち上げた人たちの思いを示すいいネーミングだったと思います。一方、排除された人たちの集まりの党名はイデオロギー的ことばが二つ並び、古いイメージです。ソビエト連合の崩壊すら四半世紀以前のことですから、政党の未来はもはや右か左かのイデオロギーよりも、大きな政府か小さな政府か、既得権益か新規参入か、規制強化・ローリスクか規制緩和・ハイリスクか、などの選択と決断だと思います。ナノフォトン社はもちろん、小さな会社、新規参入、ハイリスクを選択しました。この選択の決断でもって、新しい科学である「ナノフォトニクス」をビジネス化し、顕微鏡の未来を切り拓きたいと思っています。

2017年11月20日
ナノフォトン株式会社
代表取締役会長 河田 聡

西川計測様主催 「分析機器神戸セミナー2017」に参加します。

西川計測様主催 「分析機器神戸セミナー2017」に参加します。
(日時:2017年11月15日(水)、場所:スペースアルファ三宮)

・セミナー:『様々な材料におけるラマン分析事例と、多彩なデータ解析例をご紹介』
2017年11月15日(水) 14:45 – 15:15、Aルーム

高速・高解像度レーザーラマン顕微鏡RAMANtouch/RAMANforceの半導体測定事例を展示致します。

第4回会長室から『誰が料理したのか分かる料理を食べたい』

代表取締役会長 河田 聡

今、新製品を開発しています。誰も思いつかない画期的製品です。見ただけで使ってみただけで、たとえロゴがなくてもナノフォトンの製品だと分かる個性ある製品です。ナノフォトンのような小さな会社は、大きな会社にはない個性があります。何でも揃うデパートやスーパーよりも、新参のユニクロやニトリなどの特定の分野に特化した専門店が成功しています。ナノフォトンも「ラマン顕微鏡」だけに特化した専門店です。大学発のナノフォトン社はもともと光学・分光学・ナノテクノロジーの科学者集団です。大学ではホログラフィーや光メモリ、光ナノ加工装置、ナノ光駆動法などおよそナノフォトニクスに関わることなら何でも取り組んできました。顕微鏡・分光器の世界でもラマン分光に限らず、中赤外・近赤外分光、蛍光分光、近接場光学、非線形光学、AFMなどを基礎として様々な装置や原理を開拓してきました。しかしナノフォトン社は、ラマン顕微鏡だけを作ります。世界で最初の、そして今でも世界で唯一のレーザー走査ラマン顕微鏡メーカーです。小さくても世界初、世界唯一です。

このような専業ビジネスが、最近は二極化しています。巨大なチェーン店と小さなお店の二極化です。日本中に展開する回転寿司チェーン店に対して、頑固親父が握る鮨屋が頑張ります。全国ネットの安価な讃岐うどんチェーン店に対して、長く地元の人たちに慕われてきた小さな手打ちうどん屋さんが頑張っています。小さくて古くて有名でないお店は経営は厳しいものの、大型チェーン店よりも新鮮な食材で心のこもったこだわりのにぎり寿司や手打ちうどんを提供します。こだわりが故に量産のお店よりも値段が高くて、そのために過当競争に負けてしまう老舗もあります。しかし、私はこんなこだわりのお店こそがこれからの社会に必要だと思っています。

街中がマクドナルドばかりでは退屈なんです。幸い、最近こだわりのバーガー店やサードウエーブのコーヒー店も増えてきました。安価で品質の揃ったユニクロだけではなく、高価なルイヴィトンの製品もたまには買いたいのです。安くて壊れなくて高性能なトヨタではなく、たとえ燃費が悪くて値段が高くてもこだわりのBMWに乗りたいのです。洗濯機も冷蔵庫も炊飯器も作る会社のスピーカーよりも、スピーカーしか作らないBOSEのスピーカーが欲しいのです。

分析機器の世界では今、欧米の大きな会社が中小の分析機器メーカーを次々と買収します。こだわりを持って製品を開発してきた小さな会社の名前が消えて、設計してきた人たちの思いが製品から見えなくなってしまうのは残念なことです。ナノフォトンの製品は設計者、開発者、製造者、そのほか品質管理やアプリ担当の人たちの顔が見える小さな会社です。私はナノフォトンの製品は単なる機械ではなく、開発者たちが生み出した個性ある生き物だと思っています。デフレ時代の今、人は量販店で同じ商品を買い求めて自らの個性すら失いつつあるような気がします。地元の人たちに愛され続けたお店がどんどん店じまいをして、チェーン店に置き換わるのを見るのは寂しいものです。他人のネットランキングなど相手にせずに、私だけのお気に入りのお店を探しませんか。皆と同じ映画や同じ小説を読むのではなく、自分だけのお気に入りを探しませんか。

ナノフォトンは値段はちょっと高いけれど知名度は足りないけれど、こだわり満載のホンモノの製品を作っています。長く愛するなら、こだわりのナノフォトンのラマン顕微鏡がお勧めです。

2017年11月1日
ナノフォトン株式会社
代表取締役会長 河田 聡