ウエハーステージ搭載ラマン顕微鏡 RAMANdrive [Wafer Analyzer]

高品質ウエハー開発の駆動力。 RAMANdrive

独自開発のライン照明と、最高の空間分解能が実現する、
超高感度かつ超高速なラマンイメージング分析。

ハイパフォーマンスなラマン分光イメージング

ラマンイメージの取得速度を飛躍的に上げるため、レーザービームをライン状に引き伸ばして試料に照射する独自のライン照明技術を開発。試料上のライン状に照射された領域から、同時に400本のラマンスペクトルを検出します。また、高精度のスキャニングミラーを搭載することで、レーザービーム走査によるイメージングを実現。分析エリアを指定したら、ステージを全く動かすことなく、わずか数分のうちに10万画素を超える高精細なラマンイメージを取得できます。


また、高品質な共焦点光学系が搭載されたRAMANdriveは、XYZすべての方向で最高の空間分解能を誇ります。この高い分解能は、100nm以下の微小粒子の検出感度を飛躍的に高めることにも寄与します。優れたスペクトル分解能とピーク位置決め精度は、応力やポリタイプの高精度な分析を可能とします。

独自開発の超高速ラマンイメージングシステム 独自開発の超高速ラマンイメージングシステム

 

最高の空間分解能
空間分解能の評価

サンプル
蛍光ビーズ(Φ200 nm)
励起波長
532 nm
対物レンズ
100x, 0.90 NA

スペクトル分解能とピーク位置決め精度
分光性能の評価

励起波長
785 nm (左) | 532 nm (右)
回折格子
1200 (左) | 2400 (右)

 

100nm以下の微小異物を同定

最高クラスの空間分解能は、スポットサイズよりも小さな粒子の検出感度を飛躍的に高めます。オプションの高品質な暗視野観察機能により100nm以下の微小異物の位置を明瞭に確認し、高精度なレーザービーム走査で正確に異物の中心にレーザービームを照射します。S/Nの高いラマンスペクトルが取得できるため、高精度な異物同定が可能です。

 

100nmサイズ異物の暗視野顕微鏡像とラマン分光分析
100nmサイズ異物の暗視野顕微鏡像とラマン分光分析

 

応力分布を可視化する3Dラマンイメージング

高性能の共焦点光学系を備えたRAMANdriveなら、SiCやGaN、ダイヤモンドのような透明なサンプルの深さ方向のイメージングが可能です。SiCウエハー内の応力分布を断層ラマンイメージングしたデータでは、研削傷による応力が、研磨により軽減していることが分かります。

 

コンフォーカル(共焦点)光学系
コンフォーカル(共焦点)光学系の仕組み

オプションの波長325nmのUVレーザーを使えば、In組成やサイズが異なるInGaNドットや、GaNなどワイドギャップ半導体材料のPLスペクトルを検出できます。また、UVレーザーは侵入長が浅いため、試料の最表面の分析にも有効です。

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→SiC(シリコンカーバイド)の応力評価


Application note
→紫外励起PLイメージングとラマンイメージング