ウエハーステージ搭載ラマン顕微鏡 RAMANdrive [Wafer Analyzer]

高品質ウエハー開発の駆動力。 RAMANdrive

主な性能


主な性能
空間分解能(X / Y / Z) 350nm / 500nm / 1000nm(@532nm、100x 0.90NA)
スペクトル測定範囲
100cm-1~ (オプション:50 cm-1~)
スペクトル分解能(FWHM)
1.2cm-1 (@785nm、1200gr/mm)
スペクトルピクセル分解能
0.4cm-1/pixel (@785nm、1200gr/mm)
ピーク位置決め精度 0.1cm-1 (@532nm、2400gr/mm)


 

主な仕様


主な仕様
レーザー波長 325nm、355nm、488nm、532nm、671nm、785nmほか
レーザー照射方式
ポイント照明 / ライン照明
分光器の焦点距離
550mm
グレーティング
150、300、600、1200、1800、2400gr/mmから3枚内蔵
検出器
電子冷却CCD 1340 × 400画素

オプション
  • ・データベース
  • ・高精度ピークシフト測定機能
  • ・冷却加熱ステージ
  • ・低波数ラマンスペクトル測定機能
  • ・暗視野観察機能
  • ・クリーンルーム対応


 

本体寸法と重量

サイズ(W×H×D)
1276 × 1350 × 1320mm(除振台含む)
重 量 390kg(除振台含む)

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