ウエハーステージ搭載ラマン顕微鏡 RAMANdrive [Wafer Analyzer]

高品質ウエハー開発の駆動力。 RAMANdrive

独自開発の300mmステージに、ステージナビゲーションシステムを搭載。
異物・欠陥検査装置で取得した座標マップを読み込んで、測定対象物を確実に視野に捉えます。


独自開発300mmウエハーステージを搭載

最大300mmの大口径ウエハーを設置できる専用ステージを搭載。真空吸着機構により、ウエハーを常に水平に保ちながら、ステージ上にしっかり固定できます。ステージの可動範囲が広いため、ウエハーの端から端まであらゆる場所を視野中心に捉え、測定することが可能です。ステージ中央の溝には、ウエハー以外の背の高いサンプルも設置できます。

真空吸着機構 ウエハー位置決めピン 背の高いサンプルの測定の様子
 

測定対象を素早く確実にとらえるステージナビゲーション

ステージナビゲーションシステムは、分析時間を短縮し、分析効率を高めるソフトウェアで、RAMANdriveの最も重要な特長のひとつです。ユーザー所有のインライン異物・欠陥検査装置で取得したウエハーマップデータを読み込み、分析したい異物や欠陥のある場所へ正確かつスムーズにステージを移動させます。読み込むマップデータの種類やナビゲーションウィンドウの仕様など、ご要望に合わせたカスタマイズも可能です。

ステージナビゲーションシステムによる異物分析の流れ ステージナビゲーションシステムによる異物分析の流れ