紫外・深紫外レーザー走査ラマン顕微鏡 RAMANtouch vioLa

RAMANtouch vioLa

紫外線での観察はこれまでのラマン観察では得られなかった情報を得ることができます。紫外線は様々な物質で侵入長(光が届く距離)が短いために、表層のみの情報を得ることができます。また、蛍光の影響を避けた観察が高い空間分解能で実現できたり、ワイドバンドギャップのフォトルミネッセンス(PL)観察が行えます。

観察事例1:6H-SiCの応力測定

SiCウェハーの表面応力を測定しました。光学顕微鏡像とラマンイメージを比較すると、光学顕微鏡で黒ずんで見える欠陥部分では引っ張り応力が生じており、反対に欠陥同士の間では圧縮応力が生じていることが分かります。325nmの波長ではSiCの最表面のみを観察することができました。観察には789cm-1のラマンシフトのピークを用いました。このピークは6H-SiCのFTO(2/6)E2に該当します。

6H-SiCウェハーの測定例 6H-SiCuウェハーの測定例

 

観察事例2:InGaNの微小構造からのPL発光

GaN基板の上に成長させたInGaNの微小アイランド構造からの発光をイメージングしました。成長のさせかたによってPL発光の変化がイメージングされています。新設計の光学系により325nmから500nmという広い波長域でのイメージングが行えています。

InGaNの微小構造からのPL発光 InGaNの微小構造からのPL発光