RAMANdriveは300mmウエハーステージを搭載した半導体分析専用のラマン顕微鏡です。
ウエハーの所望の位置へ正確かつスムーズにステージを移動させ、
高性能なラマン分光イメージング分析を実現します。

ステージナビゲーションシステム

当社独自開発のステージナビゲーションシステムは、ユーザー所有の異物・欠陥検査装置で取得した座標データを読み込み、サンプル上に存在する異物や欠陥の座標へ、ステージを正確かつスムーズに電動で移動させます。サンプルの捜索に時間を割くことなく、分析業務に集中できます。

独自開発300mmウエハーステージを搭載

最大300mmの大口径ウエハーを設置できる専用ステージを搭載。真空吸着機構により、ウエハーを常に水平に保ちながら、ステージ上にしっかり固定できます。ステージの可動範囲が広いため、ウエハーの端から端まであらゆる場所を視野中心に捉え、測定することが可能です。ステージ中央の溝には、ウエハー以外の背の高いサンプルも設置できます。

測定対象を素早く確実にとらえるステージナビゲーション

ステージナビゲーションシステムによる異物分析の流れ

ハイパフォーマンスなラマン分光イメージング

ラマンイメージの取得速度を飛躍的に上げるため、レーザービームをライン状に引き伸ばして試料に照射する独自のライン照明技術を開発。試料上のライン状に照射された領域から、同時に400本のラマンスペクトルを検出します。また、高精度のスキャニングミラーを搭載することで、レーザービーム走査によるイメージングを実現。分析エリアを指定したら、ステージを全く動かすことなく、わずか数分のうちに10万画素を超える高精細なラマンイメージを取得できます。

また、高品質な共焦点光学系が搭載されたRAMANdriveは、XYZすべての方向で最高の空間分解能を誇ります。この高い分解能は、100nm以下の微小粒子の検出感度を飛躍的に高めることにも寄与します。優れたスペクトル分解能とピーク位置決め精度は、応力やポリタイプの高精度な分析を可能とします。

独自開発の超高速ラマンイメージングシステム

最高の空間分解能

サンプル蛍光ビーズ(Φ200 nm)
励起波長532 nm
対物レンズ100x, 0.90 NA

スペクトル分解能とピーク位置決め精度

励起波長785 nm (左) | 532 nm (右)
回折格子1200 (左) | 2400 (右)

100nm以下の微小異物を同定

最高クラスの空間分解能は、スポットサイズよりも小さな粒子の検出感度を飛躍的に高めます。オプションの高品質な暗視野観察機能により100nm以下の微小異物の位置を明瞭に確認し、高精度なレーザービーム走査で正確に異物の中心にレーザービームを照射します。S/Nの高いラマンスペクトルが取得できるため、高精度な異物同定が可能です。

100nmサイズ異物の暗視野顕微鏡像とラマン分光分析

応力分布を可視化する3Dラマンイメージング

高性能の共焦点光学系を備えたRAMANdriveなら、SiCやGaN、ダイヤモンドのような透明なサンプルの深さ方向のイメージングが可能です。SiCウエハー内の応力分布を断層ラマンイメージングしたデータでは、研削傷による応力が、研磨により軽減していることが分かります。

コンフォーカル(共焦点)光学系

オプションの波長325nmのUVレーザーを使えば、In組成やサイズが異なるInGaNドットや、GaNなどワイドギャップ半導体材料のPLスペクトルを検出できます。また、UVレーザーは侵入長が浅いため、試料の最表面の分析にも有効です。

Application note
→SiC(シリコンカーバイド)の応力評価

Application note
→紫外励起PLイメージングとラマンイメージング

Specification

主な性能



主な性能
空間分解能(X / Y / Z)350nm / 500nm / 1000nm(@532nm、100x 0.90NA)
スペクトル測定範囲
100cm-1~ (オプション:50 cm-1~)
スペクトル分解能(FWHM)
1.2cm-1 (@785nm、1200gr/mm)
スペクトルピクセル分解能
0.4cm-1/pixel (@785nm、1200gr/mm)
ピーク位置決め精度0.1cm-1 (@532nm、2400gr/mm)

主な仕様

主な仕様
レーザー波長325nm、355nm、488nm、532nm、671nm、785nmほか
レーザー照射方式
ポイント照明 / ライン照明
分光器の焦点距離
550mm
グレーティング
150、300、600、1200、1800、2400gr/mmから3枚内蔵
検出器
電子冷却CCD 1340 × 400画素

本体寸法と重量

サイズ(W×H×D)
1276 × 1350 × 1320mm(除振台含む)
重 量390kg(除振台含む)