多層フィルム断面のラマンイメージング

レーザーラマン顕微鏡は、共焦点が高く、表面から非破壊で試料内部の層構造を分析することが可能です。一方で、光を通さないメタル層や複雑な光学特性を利用した構造を含む場合は、断面から観察する必要があります。ここでは、断面試料作…