特注対応製品

ここでは、過去に特注対応を行った装置を紹介しております。
※現在は、特注対応製品開発は行っておりません。

第2高調波顕微鏡 SHG-21

装置の説明

有極分子に強力な光を照射すると、分子の非線形応答によって、照明光の第2高調波が発生 (SHG: Second Harmonic Generation) します。SHG-21は、この第2高調波を実時間で観察できる世界で唯一の顕微鏡です。第2高調波は各分子が整列しているときに強く得られるため、第2高調波を観察することで分子の配列情報を知ることができます。発生するSHG光の強さは照明光強度の2乗に比例するので、焦点面近傍の情報だけを選択的に収集することができ、物体の3次元構造の解明に役立ちます。高速回転するマイクロレンズアレイスキャナーと高速度CCDカメラを用いており、微弱な第2高調波/多光子蛍光であっても毎秒1000フレームの撮像が可能です。

精密反射率測定器 TRMS

装置の説明

サーモリフレクタンス顕微鏡(TRMS, Thermo Reflectance MeasurementSystem)はサーモリフレクタンス法により、物体表面の温度変化を非接触で測定できる顕微鏡です。物体表面からの光の反射率が、温度により変化することを利用して、温度変化を検出します(サーモリフレクタンス法)。サブミクロンの高い空間分解能を有しているため、半導体デバイスの微細配線の温度測定などに応用できます。TRMSは1Kの温度変化を検出可能です。サーモリフレクタンス法によって温度変化を測定するためには、反射率を高い精度で求める必要があります。代表的な例として銅の場合では、反射率の温度依存性は1.5×10-5/K程度です。TRMSは1Kの温度変化を検出するために、10-6程度の精度で反射率を測定することができます。

単一分子顕微分光/蛍光寿命測定装置 NSAS

装置の説明

NSAS はモードロック・チタンサファイアレーザー(フェムト秒レーザー)を用いて物体を蛍光励起し、分光器付きストリークカメラでスペクトル情報と分光情報を同時に計測することができる装置です。また、フォトンカウンティングAPD(アバランシェフォトダイオード)とTCSPC(時間相関単一光子計数)回路を用いて単一分子からの非常に微弱な蛍光解析も行えるようになっています。NSASでは汎用性を重視した超広帯域設計がなされており、照明光は紫外域から近赤外域まで=チタンサファイアレーザーの全チューニング範囲とその2倍高調波の範囲=が利用可能です。また、分解能の向上と迷光の除去を目的としてコンフォーカル光学系を採用しています。

超強磁場中顕微観察装置 TESRA SCOPE

装置の説明

TESRA SCOPEは超伝導マグネット内の強磁場環境下で顕微鏡観察のできるレーザー顕微鏡です。TESRA SCOPEは高分解能のコンフォーカルレーザー顕微鏡と、ソレノイド型超伝導マグネット内に配置されるペリスコープの2つの部分から構成されます。コンフォーカル顕微鏡は波長410nmのブルーレーザーダイオードを用いた高速走査型コンフォーカルレーザー顕微鏡で、ビデオレートの高速撮像と0.14μmの高解像力が特長です。ペリスコープ及びその台座は一切の磁性体を廃した設計であり、超伝導マグネット内部の超強磁場(12T)においても何ら影響を受けません。TESRA SCOPE では強磁場中における磁界との平行/直交観察や温度制御観察それに偏光観察などが可能です。ペリスコープのリレー光学技術は強磁場応用以外にも放射線チャンバーの観察等、一般には顕微鏡を近づけることが困難な環境で応用が可能です。

通信帯域EOデバイス評価装置 ICLM

通信帯域で使用できる透過型顕微鏡です。偏光検出感度は1000:1以上です。

機器構成

光源:近赤外半導体レーザー
可視モニタ光学系:カラーCCDイメージセンサ
赤外モニタ光学系:波長変換CCDイメージセンサ
ステージ:マニュアルプローバー

表面SHG光解析装置 SHG-Mol

装置の説明

SHG-Mol はモードロック・チタンサファイアレーザーを用いた分子の円偏光二色性スペクトル(CDスペクトル)測定装置です。顕微鏡下に置かれた物体を、対物レンズの開口制限寸前の斜め方向から照明してSHG(光第2高調波)光を観察します。このとき、照明光の波長を変えながら、それぞれの波長で照明光の偏光を右回りと左回りに切替えてSHG光を測定すると分子の円偏光二色性スペクトル(CDスペクトル)を測定することができます。

機器構成

光源:フェムト秒チタンサファイアレーザー
可視モニタ光学系:CCDイメージセンサ
SHG検出光学系:フォトマルチプライア

単一分子単一光子蛍光寿命測定装置 PCM-100

PCM-100はモードロック・チタンサファイアレーザーを光源に用いた単一分子からの微弱蛍光を時間相関計数する装置です。試料となる物体は倒立顕微鏡上に置かれ、下からの照明によって蛍光を発します。後部に配置されたコンフォーカル光学系が不要散乱光を排除した後フォトンカウンティング用フォトマルチプライアに導かれます。このフォトマルチプライアは偏光ビームスプリッタを挟んで2個配置されていますから偏光解析のできる時間相関単一光子計数(TCSPC)が可能になります。TCSPC技術を用いればレーザーからの光パルス数万回に対して一回程度しか物体からの蛍光光子が発生しないような微弱蛍光でさえも蛍光寿命を測定することができます。この技術によって単一分子からの非常に微弱な蛍光(単一光子)の測定が可能になりました。前述のNSASとこのPCM-100は、いずれもピエゾステージを駆動してTCSPCの結果を画像化する機能を備えています。

機器構成

光源:フェムト秒レーザー+周波数ダブラ+パルスピッカー
検出系:フォトンカウンティングAPD2チャンネル+TCSPCボード
ステージ:3軸ピエゾステージ