ナノフォトン株式会社(大阪府大阪市、代表取締役社長マイケル・ヴァースト)は、半導体分野向け新製品ウエハーアナライザーRAMANdriveをリリースいたします。

RAMANdriveは、当社独自のパワフルなラマンイメージング機能により、半導体材料中の応力や結晶多形、欠陥などの分布をサブミクロンの空間分解能で非破壊分析し、その分布を3次元で可視化することができます。独自開発の300mmウエハーステージを搭載することで、最大300mmの大型ウエハーをそのままステージに載せ、分析することが可能です。新搭載のステージナビゲーションシステムは、ユーザー所有の異物・欠陥検査装置で取得した座標データを読み込み、分析対象のパーティクルや欠陥の存在する座標へ、正確かつスムーズにステージを電動で動かします。

当社代表取締役社長のマイケル・ヴァーストは、「半導体材料中の応力、結晶多形、不純物やキャリア濃度といった物性情報を評価し、3次元的に可視化できるラマンイメージングは、半導体分野でもっとも期待されている分析手法のひとつです。独自の300mmウエハーステージを搭載したRAMANdriveは、新材料開発を加速し、歩留まりを改善するパワフルなツールになると確信しています。」と話しています。

RAMANdriveの特長

1. ステージナビゲーションシステム

ナノフォトンが開発したステージナビゲーションシステムは、ユーザー所有の異物・欠陥検査装置で取得した座標データを読み込み、ウエハー上に存在するパーティクルや欠陥の存在する座標へ、正確かつスムーズにステージを電動で動かします。サンプルの捜索に時間を割くことなく、分析業務に集中できます。

2. 100nm以下の微小異物の同定

RAMANdriveに搭載された高品質な暗視野観察機能により、100nm以下の微小異物も明瞭に観察することができます。検出感度に優れた高分解能なラマン分光分析により、微小異物のラマンスペクトルを検出し、成分を同定することが可能です。

3. 残留応力の3Dラマンイメージング分析

RAMANdriveは優れた共焦点(コンフォーカル)光学系を備えており、高性能な3次元ラマンイメージング分析を可能とします。半導体ウエハー中の応力や結晶多形の分布を、サブミクロンの空間分解能で明瞭に3次元で可視化することができます。